解決方案
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NSOD100S

通過與吸附藥劑的化學反應完全非可逆地處理廢氣


  • 處理特氣效率完美 
  • 運營成本低，無廢水
  • 易維護&更換吸附桶方便
  • 操作穩定，可PLC/Touch Panel自動控制
  • 配置應急或備份吸附桶, 無縫切換
  • 主要應用行業：Semi、FPD、Solar、LED
  • 主要應用工藝：IMP/Etch/MOCVD/廠務等
  • 設備尺寸：1,330(W)x 690(D)x 1,695(H)mm 
  • 吸附劑容量：200L