通過與吸附藥劑的化學(xué)反應(yīng)完全非可逆地處理廢氣
- 處理特氣效率完美
- 運(yùn)營成本低,無廢水
- 易維護(hù)&更換吸附桶方便
- 操作穩(wěn)定,可PLC/Touch Panel自動(dòng)控制
- 配置應(yīng)急或備份吸附桶, 無縫切換
- 主要應(yīng)用行業(yè):Semi、FPD、Solar、LED
- 主要應(yīng)用工藝:IMP/Etch/MOCVD/廠務(wù)等
- 設(shè)備尺寸:1,330(W)x 690(D)x 1,695(H)mm
- 吸附劑容量:200L