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NSGB系列
Local Scrubber

利用等離子點火及夾克式電加熱雙級燃燒處理超大流量可燃工藝氣體
主要特性：
  • 電加熱水洗式尾氣處理器適用于Semi/PV/FPD/LED等不同環境
  • 穩定的操作系統
  • 高溫筒形加熱腔
  • 易保養及維護作業
  • E.P系統能過濾超過99%的生成物
  • 特殊的電力系統設計
  • 極低的運行成本

氣 體
舉 例
硅化合物
SiH4, SiH2Cl2, TEOS…
燃燒氣體
H2, NH3, CH4…
水溶性氣體
Cl2, F2, HCl, NH3…
有毒氣體
PH3, BCl3…
全氟化
NF3…