解決方案
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NSPW600
通過直流等離子體超高溫使氣體氧化燃燒或熱分解
配套水洗噴淋，綜合處理有害廢氣

  • 出色的PFC氣體處理效率
  • 超長電極使用壽命
  • 出色的整體防腐設計 
  • 操作簡便，PLC/Touch Panel自動控制
  • 三種運行模式，節能設計，能耗超低
  • 應用行業廣泛：Semi、FPD、Solar、LED
  • 主要應用工藝：Etch/CVD等
  • 設備尺寸：890(W)×890(D)×1910(H)mm
  • 處理容量：600LPM