尾氣處理器
SCRUBBER
工藝廢氣處理設備 (Local Scrubber) 廣泛應用于泛半導體行業 (半導體、面板、太陽能、LED）的生產工藝，包括 CVD、 Diffusion、Etching 和 Ion implantation，可安全有效處理氟化物、氯化物、氫化物氣體和一般有害氣體。
隨著環境污染防控的加強，對工藝廢氣處理設備的技術要求也越來越高。協微始終保持技術領先地位，以最好的科技和品質服務本國市場，憑借可靠的產品質量和良好的售后服務，協微贏得了客戶的一致認可。
