SEMICON CHINA 精彩回顧| 共創綠色未來，協微環境助力半導體行業低碳可持續生產
SEMICON CHINA 精彩回顧| 共創綠色未來，協微環境助力半導體行業低碳可持續生產
發布日期：2023-07-05 09:00
為期三天的 SEMICON CHINA 2023 圓滿落幕，協微環境攜先進工藝廢氣處理相關產品，向行業內各專業人士展示綠色低碳工藝廢氣處理解決方案。
來自業內的專家及人士紛紛駐足展臺，深入交流，全方位了解產業布局和先端產品，致力推動綠色可持續發展，讓半導體制造更安全、更高效，為客戶安全生產保駕護航。
6月30日，在功率及化合物半導體產業國際論壇上，協微環境 CTO Kirel Tang 針對《第三代化合物半導體工藝廢氣的安全環保解決方案》做了精彩分享。
工藝廢氣處理設備在半導體制造設備中非常重要，化合物半導體的制程工藝對廢氣的排放和環境的保護提出了更多的挑戰。比如在 LED 生產中，MOCVD 制程產生的氫氣和氨氣；SiC 襯底生長過程中也有大量的氫氣和氯化氫氣體產生，這些都危害生產的安全和人員的安全，需要解決。協微環境廢氣處理解決方案，可為客戶提供安全的生產環境。
深耕尾氣處理解決方案與行業應用，協微環境將持續創新突破，不斷加大對尾氣處理應用的研發力度，持續開發符合泛半導體行業綠色生產需求的產品，推動包括半導體行業在內眾多領域的可持續發展。
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