太陽能工藝基礎
針對太陽能工藝，對于廢氣處理最關鍵的就是安全問題，而這又涉及到處理效率（DRE）不足、粉塵量大等諸多問題。而協微NSPW系列等離子體水洗系列尾氣處理設備都可完美應對。
協微尾氣處理器優勢：
1、優異的氣體分解溫度與處理效率。眾所周知，弧光放電是指一種呈現弧狀白光并產生高溫的氣體放電現象。無論在稀薄氣體、金屬蒸氣或大氣中，當電源功率較大，能提供足夠大的電流（幾安到幾十安），使氣體擊穿，發出強烈輝光，產生高溫（幾千到上萬度），這種氣體持續放電的形式就是弧光放電。尾氣處理設備則利用這一原理，配合腔體獨特耐溫隔熱材料，從而使得腔體溫度平均可達到3000℃以上，配合水箱水洗處理水溶性廢氣或副產物，幾乎對所有工藝氣體均可進行處理，處理效率可達99%以上；
2、大容量處理。太陽能市場硅烷耗量大，CVD工藝淀積率相對較低，導致大量硅烷會通入尾氣處理器，需要大容量的尾氣處理器來處理。而協微NSPW系列3000LPM的排氣量可完全滿足處理需求；水箱容量大，可應對太陽能CVD工藝大流量SiH4、BCl3、PH3等特氣。
3、應用性強，可應對工藝升級改造需求。面對復雜變化的電池生產工藝，協微等離子體水洗式尾氣處理設備可處理全系列工藝廢氣，對于新工藝引入的磷摻雜、硼摻雜，獨特的干濕分離設計又可有效避免磷硼副產物帶來的粉塵堵塞問題，而對于難以分解的PFCs氣體，具有出色的處理效率。例如目前HJT市場，工藝復雜，要求高，引入了PFC氣體進行腔體清潔，需要耐腐蝕，抗粉塵，大氣體流量的尾氣處理器。目前協微的NSPW1.5K-S尾氣處理設備已經成功在邁為、理想、捷佳緯創、均石、金辰等HJT主機臺裝機應用，并保持緊密技術交流及合作
4、電是最清潔沒有污染且穩定的能源。2020年9月22日，中國政府在第七十五屆聯合國大會上提出：“中國將提高國家自主貢獻力度，采取更加有力的政策和措施，二氧化碳排放力爭于2030年前達到峰值，努力爭取2060年前實現碳中和。”協微NSPW1.5K-S未引入任何碳源，可有效控制副產物。同時還配置有節能模式（Idle以及高低火模式調節），有效控制電力消耗。